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ターゲットの製造方法および薄膜の製造方法

  • 公開日: 2020-11-02
添付:PDFファイル

ターゲットの製造方法および薄膜の製造方法(特許第6707740号)
本発明は,桜島溶岩や溶結凝灰岩などの火山噴出物(天然岩石)を簡易な機械加工により,薄膜作製装置で用いるターゲット,およびそれを用いた薄膜の製造方法です。ターゲットは,火山噴出物から削り出し加工で行うため,工程が簡素化でき,大型化や複雑形状が可能です。また,薄膜は,火山噴出物にプラズマでイオン化したガスを叩きつけることで,金属,繊維などの様々な素材に厚さ1マイクロメートルの薄膜として作製できます。
膜が薄いため透明となり,素材の性質を保持したまま,火山噴出物の特性を活かした高機能な製品開発が可能となります。

カテゴリ : シーズ(得意な技術・サービス等)
対象エリア: 選択なし
有効期限 : 無期限

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